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  • 東京大學和三菱將減少SiC功率半導體電阻的因素
    東京大學和三菱將減少SiC功率半導體電阻的因素
  • 東京大學和三菱將減少SiC功率半導體電阻的因素
  •   發布日期: 2017-12-12  瀏覽次數: 1,827

     日本東京大學和日本三菱電機株式會社的大學產業團隊在12月4日在舊金山召開的第63屆IEEE國際電子器件會議(IEDM 2017)上報告說,它首次量化了三個電子 - 用于確定功率半導體模塊中的碳化硅(SiC)功率半導體器件的電阻的散射機制。他們發現SiC界面下的電阻可以通過抑制電荷的電子散射而降低三分之二。預計這將通過降低SiC功率半導體的電阻來幫助降低功率設備的能耗。

      SiC功率器件比傳統的硅功率器件具有更低的電阻,因此要進一步降低其電阻,正確理解SiC界面下的電阻特性非常重要。

      三菱電機先進技術研發中心碳化硅器件開發中心高級經理Satoshi Yamakawa表示:“直到現在,單獨測量決定電子散射的阻力限制因素還是很難的。

      


     

      圖片:SiC界面下的電子散射受到三個因素的限制:界面的粗糙度,界面下的電荷以及原子振動。

      關注原子振動的電子散射是使用東京大學的技術測量的。在三菱電機制造裝置的分析中,顯示出在SiC界面下電荷和原子振動對電子散射的影響占主導地位。盡管已經認識到SiC界面下的電子散射受三個因素限制,即SiC界面的粗糙度,SiC界面下的電荷以及原子振動,各個因素的貢獻還不清楚。為了確認電荷的影響,制作平面型SiC金屬氧化物半導體場效應晶體管(SiC-MOSFET),其中電子從SiC界面離開幾納米。

      東京大學研究生院副教授Koji Kita說:“我們能夠以前所未有的水平證實,SiC界面的粗糙度幾乎沒有影響,而SiC界面下的電荷和原子振動是主要因素。 。

      


     

      圖:SiC界面粗糙度對限制電阻的影響不大,而SiC界面下的電荷和原子振動是主導因素。

      使用較早的平面型SiC-MOSFET器件進行比較,由于電子散射的抑制,通過使電子遠離SiC界面下的電荷而實現的電阻減小了三分之二。以前的平面型器件具有與三菱電機制造的SiC MOSFET相同的界面結構。

      為了進行測試,公司負責處理阻力限制因素的設計,制造和分析,東京大學負責測量電子散射因子。

      “未來,我們將繼續完善我們的碳化硅MOSFET的設計和規格,以進一步降低SiC功率器件的電阻,”Yamakawa說。


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