根據國際半導體協會(SEMI)的數據, 2017年全球半導體用特種氣體市場規模為38.9億美元,增長率為12.32%。按此增速,2018年的市場規模預計在45億美元左右。
目前,國際上電子氣體產業已經處于非常成熟的時期,全球半導體用電子氣體市場呈現出寡頭競爭的格局,美國空氣化工、法國液化空氣、普萊克斯、德國林德、日本大陽日酸之和占比94%以上。國內的半導體用電子氣體市場也主要被國外廠商占據,其中空氣化工、普萊克斯、昭和電工、英國BOC、液化空氣和日本大陽日酸6家公司合計市場占有率高達85%。
當前,世界集成電路產業正呈現向中國快速轉移的趨勢,因此中國對電子氣體的需求也呈大幅增長態勢。中國高速發展的集成電路產業要求關鍵的電子氣體要盡快實現國產化,并保證穩定的供應。可喜的是,近幾年,國內電子氣體產業已經起步并開始步入快速成長期,出現了江蘇南大光電材料股份有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等一批電子氣體生產企業,在高純六氟化鎢、三氟化氮、氨氣等領域已經取得了突破。
但是,由于國內電子氣體的生產和供應商規模較小、質量穩定性問題和產品的包裝、儲運等原因,國內電子氣體的生產商還不能全面進入集成電路等領域。要真正實現電子氣體的大規模本土化,擺脫對進口材料的依賴,依然任重道遠。
業內人士表示,中國集成電路產業要實現從跟蹤走向引領的跨越,電子氣體的突破將是重要一環。需要國家落實和完善對該類企業的財稅、資金等優惠政策支持,加大財政資金、大基金和金融部門的扶持力度,引導集成電路廠家使用國產電子氣體,從而幫助企業把握發展機遇,加快企業技術進步和做大做強。