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    中微自研5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證
  • 中微自研5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證
  •   發布日期: 2018-12-29  瀏覽次數: 1,374

    不鳴則已,一鳴必驚人!

    當全世界都將目光投向華為,關注孟晚舟的時候,上海突然傳來大消息,讓國人為之振奮,讓世界為之震撼:

     

    中微半導體設備(上海)有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證,性能優良,將用于全球首條5納米制程生產線。

    這意味著中微突破了“卡脖子”技術,讓“上海制造”躋身刻蝕機國際第一梯隊。

    刻蝕機,是芯片制造的核心裝備。

    現代信息技術和人工智能,都是以芯片為基礎的。而刻蝕機作為制造芯片的工具,和光刻機一樣,就相當于農業時代的人手,工業時代的機床。

    芯片要成為產品,需要設計和制造。

    光刻機和刻蝕機都用于芯片制造,光刻機相當于把設計的電路圖復制到硅片上,刻蝕機再按照這個圖進行施工,他們同樣都是集成電路生產過程中必不可少的一環。

    ▲中國早期等離子刻蝕機

    下面我們來劃一下這條信息的重點:全球!首條!5納米芯片制程生產線!

    是的,你沒看錯,不負眾望!低調的中微半導體設備公司,終于在2018年的收官時刻,正式敲定了5nm刻蝕機!

    5 納米,什么概念?

    同樣大小的芯片,誰能裝的二極管越多,誰爆發的功能就越強大。因此,芯片對納米雕刻工藝,有著極致的追求。

    一個16nm微觀原件,至少有60層微觀結構,需要攻克的技術細節高達上萬個。

    在實際雕刻過程中,需要經過1000多個工藝步驟。他它的加工尺度,為普通人頭發絲的五千分之一。

    中微半導體CEO尹志堯形容說:“在米粒上刻字的微雕技藝上,一般能刻200個字已經是極限,而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝,相當于可以在米粒上刻10億個字的水平。”

    于方寸間近乎神一樣的操作,要求刻蝕機的精度必須達到極致。

    打個比方,在高倍的電子掃描鏡下,將芯片放大一萬倍,它的結構就像是密密麻麻的立交橋和高速公路,而這些高速公路,只有頭發絲的萬分之一那么寬。刻蝕機就是在指甲蓋大小的芯片上建這些“立交橋和高速公路”。

    在2018年的收官時刻、在中國高端制造最艱難的時刻,中微半導體的消息無異于平地驚雷,炸響了西方那骯臟的壟斷世界!

    這是中國半導勝利的輝煌一刻、更是中國科技的里程碑時刻!

    自豪的同時,我們要感謝一個人!

    是他,讓中國半導體技術彎道超車,趕超美日!是他,讓“中國芯”實現中國制造,突破外企獨霸!

    他是誰?

    他曾在美國硅谷從事半導體行業20多年;個人擁有60多項專利;曾被美國譽為“硅谷最有成就的華人之一”。

    他就是尹志堯! 

    在沒回中國前,尹志堯一直在美國硅谷從事半導體行業,在世界最大的百億美元的半導體設備企業——美國應用材料公司擔任總公司副總裁。

    曾被譽為“硅谷最有成就的華人之一”,參與了美國幾代等離子體刻蝕機的研發,在半導體行業20多年,擁有60多項技術專利。

    然而在2004年,60歲的尹志堯毅然放棄了美國的百萬美元的年薪,沖破美國政府的層層審查,帶領著三十多人的團隊回到中國。

    臨行前,美國把他所有的工藝配方、設計圖紙都沒收了,60歲的他,頂個腦袋回來,創辦了中微半導體。

    他為什么要回國?

    如果說在工業化時代,鋼鐵是工業的“糧食”,那么在如今的信息化時代,“芯片”則就是現代工業的“糧食”。

    在他沒回國前,中國的芯片行業曾流傳這樣一句話:除了水和空氣以外,其它全是從國外進口的。

    華為當時雖然能夠設計出頂級的“麒麟芯片”,但并不能生產,只能找臺灣的臺積電代工生產。

    但按臺灣方面的要求,臺積電大陸工廠的技術必須落后臺灣三代。

    毫無疑問,一直以來,中國的半導體技術在市場上是完全沒有競爭力的!

    但是不攻占這一領域,中國永遠談不上制造強國。

    核心技術上一旦長期受制于人,那么大量的利潤,以及市場的話語權都會給別人占據!

    這口悶氣一直壓在心頭,但卻又不得不接受這個殘酷的現實!

    落后就要挨打,強者生存,這便是現實!

    他說:在國外做得再好,也是給外國人做嫁衣,學成只為他日歸來,報效祖國,讓中國芯片在國際上取得一席之地! 

    他回國后做了些什么?

    剛回來時,公司一窮二白,一切從零開始。

    他和他的團隊一直保持著年輕人的活力,一天工作超過16個小時,只為了能盡快做成世界第一。 

    中微半導體從65nm等離子介質蝕刻機開始,45nm、32nm、28nm、16nm、10nm一路走下來,7nm蝕刻機也已經運行在客戶的生產線上,再到如今的5nm。

    經過幾年臥薪嘗膽,不鳴則已,一鳴必驚人!

    萬萬沒想到,一直在這一領域沒有任何話語權的中國內地半導體企業能夠彎道超車!走在了半導體技術的最前沿,要知道以前中國90%的芯片都需要靠進口,怎么可能?

    就如同當初沒人相信中國高鐵技術能自主研發并成為世界第一那樣!

    但他們殊不知早在五年前,中國中微就已經開始臥薪嘗膽,尹志堯更是說道,要做就做世界第一,做中國第一也會讓別人替代!

    在我看來,中微能做到一點不奇怪。中微就像一個隱形的巨人一般一直潛伏著,而尹志堯更是點燃星火的人。

    最后,盡管這項核心技術被攻破,不過還是要理性的分析一下。

    要特別注意,中微半導體搞定5nm蝕刻機,完全不等于就可以生產5nm芯片了,因為蝕刻只是眾多工藝環節中的一個而已。

    整體而言,我國半導體制造技術還差距非常大,尤其是光刻機,最好的上海微電子也只是做到了90nm的國產化。

    當然在另一個方面,我國的半導體技術也在不同層面奮起直追,不斷縮小差距,比如依然很先進的14nm工藝,在14nm 領域,北方華創的硅/金屬蝕刻機、北方華創的薄膜沉積設備、北方華創的單片退火設備、上海盛美的清洗設備,都已經開發成功,正在進行驗證。

    “一個人一輩子能做成一件事已經很不簡單了,為什么?中國13億人民,我們這幾個把豆腐磨好,磨成好豆腐,你那幾個企業好好去發豆芽,把豆芽做好,我們13億人每個人做好一件事,拼起來我們就是偉大祖國。”

    這是任正非在全國科技創新大會上說的一句話。

    是的,建設科技強國時不我待!只有每個領域的人專心致志的做好每個領域的事,才能實現彎道超車!

    我們相信華為之后,中微同樣會成為其領域最閃耀的星星!而這一切,正在發生!!!

    假以時日,中國芯片必將屹立世界之巔。


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